氮化硅中氟、氯的測定
電子級的氮化硅薄膜是通過化學氣相沉淀或者等離子體增強化學氣相沉淀技術(shù)制造,而氮化硅中陰離子雜質(zhì)尤其是鹵素會對相關(guān)接觸部件造成嚴重腐蝕,所以對氮化硅中陰離子雜質(zhì)的準確測定具有重要意義。
分析柱:SH-G-1+SH-AC-11
流動相:12 mM KOH(EG)
流速:1.0 mL/min
柱溫:35℃
抑制器:SHY-A-6
進樣體積:25 μL
前處理:稱取適量樣品(準確記錄質(zhì)量,精確到 0.0001 g)于樣品舟中,經(jīng)燃燒離子色譜進樣分析。同時做樣品舟空燒對照組分析。
色譜測量數(shù)據(jù)
氮化硅中氟、氯的譜圖
Related Products
查看詳情
查看詳情
查看詳情
查看詳情
related news
1月29日,青島盛瀚色譜技術(shù)有限公司聯(lián)合北京北分瑞利分析儀器(集團)有限責任公司共同發(fā)布SH-IA200離子色譜-原子熒光聯(lián)用儀。該儀器可實現(xiàn)砷汞硒等多種金屬元素的形態(tài)分析,靈敏度高、檢出限低、具有廣泛的應(yīng)用前景。 中國分
2022年5月19日至5月20日,第22屆LABORAMA EXPO貿(mào)易展覽會于比利時布魯塞爾世博會1號館舉行。在當?shù)睾献骰锇榈闹С窒?,盛瀚CIC-D150型號離子色譜儀亮相展會,這也是本年度盛瀚離子色譜儀參加的第五場海外展。
離子色譜主要用于環(huán)境樣品的分析,包括地面水、飲用水、雨水、生活污水和工業(yè)廢水、酸沉降物和大氣顆粒物等樣品中的陰、陽離子,與微電子工業(yè)有關(guān)的水和試劑中痕量雜質(zhì)的分析。 離子色譜是高效液相色譜的一種,故又稱高效離子色譜(HPIC)或現(xiàn)
2018年7月14日,離子色譜技術(shù)發(fā)展戰(zhàn)略沙龍暨離子色譜35周年紀念活動在青島順利召開。此次沙龍由中國儀器儀表學會分析儀器分會主辦,中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會分析儀器分會、青島市科學儀器產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟協(xié)辦,國產(chǎn)科學儀器設(shè)備應(yīng)用示范產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、青島盛瀚色譜技術(shù)有限公司承辦。
3月,盛瀚小班培訓的足跡遍布哈爾濱、沈陽、北京、鄭州、青島、長治、成都、廣州等城市,以“客戶第一”、“專業(yè)專注”的服務(wù)精神,組織當?shù)乜蛻魧W習產(chǎn)品知識、儀器操作、解決方案等,提升客戶體驗感和滿意度,積極踐行“五星級售后服務(wù)”。